[发明专利]显示装置用基板及其制造方法、显示装置无效
申请号: | 201180039851.1 | 申请日: | 2011-05-11 |
公开(公告)号: | CN103069334A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 高西雄大;神崎庸辅;冈本哲也;齐藤裕一;中谷喜纪 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | G02F1/1368 | 分类号: | G02F1/1368;G09F9/30;H01L29/786 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 薄膜晶体管基板(20)包括:绝缘基板(10a);设置在绝缘基板(10a)上的栅极绝缘层(12);设置在栅极绝缘层(12)上且包括铟镓锌氧化物(IGZO)的连接层(25);设置在连接层(25)上且包括钛的漏极电极(16b);形成于连接层(25)和漏极电极(16b)的接触孔(Ca);和设置在接触孔(Ca)的表面上且与连接层(25)接触的像素电极(19a)。并且,漏极电极(16b)与像素电极(19a)经由连接层(25)电连接。 | ||
搜索关键词: | 显示装置 用基板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种显示装置用基板,其特征在于,包括:绝缘基板;设置在所述绝缘基板上的栅极绝缘层;设置在所述栅极绝缘层上且包括铟镓锌氧化物(IGZO)的连接层;设置在所述连接层上且包括钛或标准电极电位比钛低的金属的漏极电极;形成于所述连接层和所述漏极电极的接触孔;和设置在所述接触孔的表面上且与所述连接层接触的像素电极,所述漏极电极与所述像素电极经由所述连接层电连接。
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