[发明专利]磁记录介质用软磁性合金、溅射靶材以及磁记录介质

摘要

本发明提供具有低矫顽磁力、高无定形性、高耐腐蚀性及高硬度的垂直磁记录介质用软磁性合金、以及用于制作该合金的薄膜的溅射靶。该合金以at.％计含有Zr及Hf的1种或2种合计为6～20％、含有B1～20％、含有Ti、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Ni、Al、Si、P的1种或2种以上合计0～7％，剩余部分含有Co和/或Fe、以及不可避免的杂质。该合金还满足6≤2×(Zr％+Hf％)-B％≤16、以及0≤Fe％/(Fe％+Co％)＜020。

主权项

一种磁记录介质用软磁性合金，其以at.％计含有：Zr及Hf的1种或2种：合计为6～20％、B：1～20％、Ti、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Ni、Al、Si、P的1种或2种以上：合计0～7％，剩余部分含有Co和/或Fe、以及不可避免的杂质，并且满足下式：6≤2×(Zr％+Hf％)‑B％≤16、以及0≤Fe％/(Fe％+Co％)＜0.20。