[发明专利]用于基板的载具及组装该载具的方法

摘要

本发明关于薄膜的真空沉积领域中用于基板的载具及组装该载具的方法。具体而言，本发明针对一种用于基板的载具(1)，该基板要在真空室中涂布，该载具包含：第一框架(3)，第一框架(3)包含两个垂直部分(32)及两个水平部分(31)，这些部分经尺寸调整以围绕该基板；第二框架(2)，第二框架(2)经尺寸调整以界定要涂布的基板的区域，且第二框架(2)经尺寸调整以覆盖第一框架(3)的至少第一部分(33)，从而在第二框架(2)安装至第一框架(3)时，防止第一框架(3)的第一部分(33)被涂布；以及其中第二框架(2)以可拆卸的方式安装至第一框架(3)。

主权项

一种用于在真空室中要涂布的基板的载具(1)，所述载具包含：第一框架(3)，所述第一框架(3)包含两个垂直部分(32)及两个水平部分(31)，这些部分经尺寸调整以围绕所述基板；第二框架(2)，所述第二框架(2)经尺寸调整以界定要涂布的所述基板的区域，且所述第二框架(2)经尺寸调整以覆盖所述第一框架(3)的至少第一部分(33)，从而在所述第二框架(2)安装至所述第一框架(3)时，防止所述第一框架(3)的所述第一部分(33)被涂布；以及其中所述第二框架(2)以可拆卸的方式安装至所述第一框架(3)。