[发明专利]振动反射镜器件无效
| 申请号： | 201180043074.8 | 申请日： | 2011-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN103097937A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 神野伊策;井上尚树;村山学 | 申请（专利权）人： | 船井电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;B81B3/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂宁乐;向勇 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够容易地制造的具有用于检测驱动的检测用电极的振动反射镜器件。该振动反射镜器件（100）具有反射镜部（1）和用于驱动反射镜部的驱动部（4、5）；上述驱动部配置有用于通过被施加电压来使驱动部变形并驱动的驱动用电极（44、54）和用于检测驱动部的变形量的检测用电极（45、55）。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 反射 器件 | ||
【主权项】：
一种振动反射镜器件（100、300、400），其特征在于，具有反射镜部（1）和用于驱动上述反射镜部的驱动部（4、5、304、305、404、405）；上述驱动部配置有：驱动用电极（44、54、344、354），用于通过被施加电压来使上述驱动部变形并驱动，检测用电极（45、55、374、384、474、484），用于检测上述驱动部的变形量。
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