[发明专利]小尺寸双臂真空机器人

摘要

在此提供双臂基板移送机器人的实施例。在某些实施例中，双臂基板移送机器人可包括中央致动器，围绕中央轴旋转移送机器人；连接臂，该连接臂拥有第一端以及通常与第一端相对的第二端，其中该连接臂在介于第一端与第二端之间毗邻连接臂中心处与中央致动器连接；第一前臂，与连接臂的第一端可旋转地连接；第二前臂，与连接臂的第二端可旋转地连接；第一前臂致动器，控制第一前臂相对于连接臂的旋转；以及第二前臂致动器，控制第二前臂相对于连接臂的旋转，其中第一前臂致动器与第二前臂致动器从中央致动器横向偏位。

主权项

一种双臂基板移送机器人，包括：中央致动器，所述中央致动器围绕中央轴旋转所述移送机器人；连接臂，所述连接臂具有第一端以及与所述第一端相对的第二端，其中所述连接臂在介于所述第一端与所述第二端之间毗邻所述连接臂的中心处与所述中央致动器连接；第一前臂，所述第一前臂与所述连接臂的所述第一端可旋转地连接；第二前臂，所述第二前臂与所述连接臂的所述第二端可旋转地连接；第一前臂致动器，所述第一前臂致动器控制所述第一前臂相对于所述连接臂的旋转；以及第二前臂致动器，所述第二前臂致动器控制所述第二前臂相对于所述连接臂的旋转，其中所述第一前臂致动器与所述第二前臂致动器从所述中央致动器横向偏位。