[发明专利]成膜装置有效
| 申请号： | 201180045171.0 | 申请日： | 2011-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103119192A | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 早坂智洋;高桥康司;久保昌司;长岛雅弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01L21/205;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 齐葵;周艳玲 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 该成膜装置（10）包括：成膜室（11），用于在基板（W）形成覆膜；搬运架（14），用于垂直保持所述基板（W）以使所述基板（W）的一面沿竖直方向；装入和取出室（12），配置为通过开关部（17）与所述成膜室（11）连通；移动机构（40），设置在所述装入和取出室内，用于使所述搬运架（14）在使所述搬运架（14）在与所述成膜室（11）之间能够插脱的运送位置（P0）和与所述运送位置相邻的避让位置（P1、P2）之间移动，并且使所述搬运架（14）沿相对于竖直方向及水平方向分别形成大于0°且小于90°的规定角度的倾斜方向上下移动。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种成膜装置，其特征在于，包括：成膜室，用于在基板上形成覆膜；搬运架，用于垂直保持所述基板以使所述基板的一面沿竖直方向；装入和取出室，配置为通过开关部与所述成膜室连通；和移动机构，设置在所述装入和取出室内，用于使所述搬运架在使所述搬运架在与所述成膜室之间能够插脱的运送位置和与所述运送位置相邻的避让位置之间移动，并且使所述搬运架沿相对于竖直方向及水平方向分别形成大于0°且小于90°的规定角度的倾斜方向上下移动。
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