[发明专利]有机膜形成装置以及有机膜形成方法有效
| 申请号： | 201180050603.7 | 申请日： | 2011-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN103154303A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 内田一也;大森大辅;宫内淳 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/58;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 毛立群;李浩 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种使有机材料附着之后，使成膜对象物静止，固化有机材料，能将有机膜成膜的有机膜形成装置以及有机膜形成方法。在真空槽（11）内配置的基板台（14）上配置成膜对象物（5），在成膜对象物（5）的表面接触配置掩模（31），冷却成膜对象物（5），将真空槽（11）内进行真空排气的同时，从掩模（31）上喷出当照射光时进行固化的光反应性材料，并使其附着于在掩模（31）的开口（34）底面露出的成膜对象物（5）的表面，在附着的部分形成光反应性材料的液状膜，在停止了真空槽（11）内的真空排气的状态下，在放射光的光照射装置（24）中，使光放射的同时，在掩模上移动，使液状膜固化，形成光反应性材料的有机膜。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 形成 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种有机膜形成装置，形成当照射光时进行固化的光反应性材料的有机膜，其具有：真空槽；从配置于所述真空槽内的多个喷出口，喷出光反应性材料的喷淋板；至少与所述喷淋板面对的面被配置于所述真空槽内的基板台；将配置于所述基板台上的成膜对象物进行冷却的冷却装置；将配置于所述基板台上的所述成膜对象物的掩模进行保持的掩模保持装置；在所述喷淋板与所述基板台之间移动的同时，朝向所述掩模放射光的光照射装置；以及使所述喷淋板升温的加热装置。
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