[发明专利]用于第三方支持装备的预测性维护有效
| 申请号： | 201180053750.X | 申请日： | 2011-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN103201691A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | J·R·斯威耶尔斯;M·耶达托勒;T·L·戴维斯;D·特纳;M·W·约翰逊 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G05B23/00 | 分类号： | G05B23/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在制造环境中，服务器在第三方支持装备的操作期间自第三方支持装备中接收装备数据。服务器经由第三方支持装备上的第一端口接收装备数据。第三方支持装备经由第三方支持装备上的第二端口与处理工具相通信。基于装备数据，服务器决定第三方支持装备的未来状态，并且通知用户第三方支持装备的未来状态。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 第三 支持 装备 预测 维护 | ||
【主权项】：
一种计算机实施的方法，所述方法包含：在制造环境中，藉由包含支持装备性能子系统和处理设备的服务器在第三方支持装备的操作期间自所述第三方支持装备中接收装备数据，其中所述装备数据经由所述第三方支持装备上的第一端口接收，并且所述第三方支持装备经由所述第三方支持装备上的第二端口与处理工具相通信；基于所述装备数据，藉由所述服务器决定所述第三方支持装备的未来状态；以及藉由所述服务器通知用户所述第三方支持装备的所述未来状态性能。
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