[发明专利]弹性波装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201180062385.9 | 申请日： | 2011-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN103283147A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 木村哲也;小上贵史;大门克也 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H3/08;H03H9/25 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 樊建中 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供利用了板波的弹性波装置，不需要空腔的形成，能谋求制造工序的简化，并且机械强度优良，处置容易，且改善了温度特性。弹性波装置(1)传播板波，在支承基板(2)上层叠声反射层(3)、压电体层(4)以及IDT电极(5)，压电体层(4)的厚度小于IDT电极(5)的电极指的周期，其中，声反射层(3)具有低声阻抗层(3b、3d、3f、3h)和高声阻抗层(3a、3c、3e、3g)，低声阻抗层由SiO2构成，所述高声阻抗层由从W、LiTaO3、Al2O3、AlN、LiNbO3、SiN以及ZnO所构成的群中选择的至少一种材料构成。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种弹性波装置，传播板波，具备：支承基板；形成于所述支承基板上的声反射层；形成于所述声反射层上的压电体层；和形成于所述压电体层的上表面或下表面的IDT电极，所述压电体层的厚度小于所述IDT电极的电极指的周期，其中，所述声反射层具有：低声阻抗层、和声阻抗高于该低声阻抗层的高声阻抗层，所述低声阻抗层由SiO2构成，所述高声阻抗层由从W、LiTaO3、Al2O3、AlN、LiNbO3、SiN以及ZnO所构成的群中选择的至少一种材料构成。
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