[发明专利]蒸镀装置和回收装置无效
| 申请号： | 201180062667.9 | 申请日： | 2011-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103270187A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 园田通;川户伸一;井上智;桥本智志 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在真空腔室（5）的防附着板（3）和闸门（4）的被蒸镀蒸镀颗粒的表面的至少一部分上设置有能够从防附着板（3）和闸门（4）剥离的薄膜（7），薄膜（7）包含熔点、升华点、相对于规定溶剂的溶解特性、相对于微生物的生物降解性、和光分解特性中的至少一个与在薄膜（7）上形成的蒸镀膜不同的材料。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 回收 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其为在蒸镀室中使从蒸镀源放出的蒸镀颗粒蒸镀在基板上的蒸镀装置，其特征在于：从所述蒸镀源在第一期间中向第一方向放出的蒸镀颗粒被蒸镀在所述基板上，从所述蒸镀源在所述第一期间中向与所述第一方向不同的第二方向放出的蒸镀颗粒、或在与所述第一期间不同的第二期间中从所述蒸镀源放出的蒸镀颗粒，被蒸镀在能够从所述蒸镀装置卸下的防附着部件上，在所述防附着部件的被蒸镀所述蒸镀颗粒的表面的至少一部分上设置有能够从所述防附着部件剥离的薄膜，所述薄膜包含熔点、升华点、相对于规定溶剂的溶解特性、相对于微生物的生物降解性、和光分解特性中的至少一个与在所述薄膜上形成的蒸镀膜不同的材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于夏普株式会社，未经夏普株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180062667.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于排气的嵌件，容置件和后处理单元
- 下一篇：癌细胞的检测方法
- 同类专利
- 专利分类
