[发明专利]蒸镀膜的形成方法和显示装置的制造方法有效

专利信息
申请号: 201180062848.1 申请日: 2011-12-20
公开(公告)号: CN103270816A 公开(公告)日: 2013-08-28
发明(设计)人: 园田通;川户伸一;井上智;桥本智志 申请(专利权)人: 夏普株式会社
主分类号: H05B33/10 分类号: H05B33/10;C23C14/04;C23C14/24;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/04;H05B33/06
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳
地址: 日本,*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 屏蔽膜(13)以在显示区域(R1)(发光区域)和密封区域内具有开口部的方式形成,接着形成具有条状的图案的发光层(8R、8G、8B),接着剥离屏蔽膜(13),从而形成被高精细地图案形成的发光层(8R、8G、8B)。
搜索关键词: 镀膜 形成 方法 显示装置 制造
【主权项】:
一种蒸镀膜的形成方法,其是在基板上形成蒸镀膜的蒸镀膜的形成方法,其特征在于,具有:在所述基板的规定区域形成能够剥离的遮蔽膜的工序;在所述基板隔着所述遮蔽膜形成蒸镀膜的工序;和通过剥离所述遮蔽膜将所述蒸镀膜形成为规定形状的工序。
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