[发明专利]成膜装置

摘要

提供一种成膜装置，即使对于第4代以上的大型基板也能够应对，且实用性非常优异。成膜装置具备成膜室（1），在成膜室（1）中使成膜材料经由掩模（3）附着于保持为直立状态的基板（2），所述成膜装置在成膜室（1）设有：校准驱动机构，其进行掩模（3）与基板（2）的对位，以使掩模（3）相对于基板（2）处于适当位置；蒸发源（100），其能够沿基板（2）或掩模（3）的搬送方向移动；以及掩模搬送机构及基板搬送机构，它们分别将基板（2）和掩模（3）以直立状态搬送至面对蒸发源（100）的多个成膜位置，所述成膜装置构成为，能够一边在一个成膜位置通过蒸发源（100）进行成膜，一边在另一个成膜位置通过校准驱动机构进行掩模（3）与基板（2）的对位。

主权项

一种成膜装置，所述成膜装置具备成膜室，在所述成膜室，使成膜材料经由掩模附着于保持为直立状态的基板来进行成膜，所述成膜装置的特征在于，在所述成膜室设有：校准驱动机构，其进行所述掩模与所述基板的对位，使得所述掩模相对于所述基板处于适当位置；蒸发源，其使所述成膜材料附着于能够沿所述基板或所述掩模的搬送方向移动的所述基板；以及掩模搬送机构和基板搬送机构，它们分别将所述掩模和所述基板以直立状态搬送至面对所述蒸发源的多个成膜位置，所述成膜装置构成为，能够一边在一个所述成膜位置利用所述蒸发源进行成膜，一边在另一个所述成膜位置利用所述校准驱动机构进行所述掩模与所述基板的对位。