[发明专利]气体供应装置用流量控制器的流量测定装置及流量测定方法在审
| 申请号： | 201180064390.3 | 申请日： | 2011-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103282748A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 泽田洋平;永濑正明;池田信一;西野功二;土肥亮介 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | G01F1/00 | 分类号： | G01F1/00;G01F15/02;G01F25/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 肖日松;杨楷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明能够更迅速且高精度地进行气体供应装置用流量控制器的流量测定，并且谋求用于测定的流量测定装置的构造的简化及小型化。本发明由以下部分构成：分支管路(Lb)，其成分支状且分离自如地将其入口侧端部向设于气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结，并且将其出口侧端部向气体流出侧连结；开闭阀(V)，其设于分支管路(Lb)的出口侧；压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)，其检测开闭阀(V)的上游侧的气体压力及气体温度；以及运算控制装置(CP)，其被输入来自压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)的检测信号，且运算流通于分支管路(Lb)的气体流量，该流量测定装置成分支状且分离自如地向设于气体供应装置(GF)的气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 供应 装置 流量 控制器 测定 方法 | ||
【主权项】：
一种气体供应装置用流量控制器的流量测定装置，其特征在于，包括以下部分：分支管路(Lb)，其成分支状且分离自如地将其入口侧端部向设于气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结，并且将其出口侧端部向气体流出侧连结；开闭阀(V)，其设于分支管路(Lb)的出口侧；压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)，其检测开闭阀(V)所流动的气体压力及气体温度；以及运算控制装置(CP)，其被输入来自压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)的检测信号，且运算流通于分支管路(Lb)的气体流量，该流量测定装置成分支状且分离自如地向设于气体供应装置(GF)的气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结。
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