[发明专利]电子显微镜用试样支架及试样观察方法有效
| 申请号： | 201180067087.9 | 申请日： | 2011-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN103348439A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 细谷幸太郎;大野正臣;波多野治彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 不是环境控制式电子线装置，即使通常的电子线装置也能实现试样附近的局部低真空化与试样冷却，并且不对装置进行改造且不追加气缸等设备而只利用试样支架实现试样附近的局部低真空化与试样冷却。在能将成为气体源的物质收纳在内部的容器与在该容器的试样台下部具备贯通孔的试样支架上载置被观察试样，通过上述贯通孔将从上述容器蒸发或挥发的气体供给到上述被观察试样，在上述被观察试样的载置位置或试样附近形成局部的低真空状态。并且，利用在挥发时的气化热也能进行试样冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 试样 支架 观察 方法 | ||
【主权项】：
一种电子显微镜用试样支架，其用于相对于收纳在真空试样室中的试样照射电子线，从而获得上述试样的图像的电子显微镜，该电子显微镜用试样支架的特征在于，具备收纳成为气体源的物质的容器，该容器具备载置上述试样的试样台、以及将由上述容器内的物质产生的气体供给到上述试样台上的试样的机构。
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