[发明专利]半导体装置的检查设备有效
申请号: | 201180069246.9 | 申请日: | 2011-09-16 |
公开(公告)号: | CN103430031A | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | 李彩允 | 申请(专利权)人: | 李诺工业有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R31/26;H01L21/66 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 孙纪泉 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体装置的检查设备,其用于检查具有多个电的检查接触点的检查目标的电特性。检查设备包括插槽组件,其中插槽组件包括在纵向方向上可缩回的多个探针、支撑彼此平行的所述探针的探针支撑器、和包括与所述探针的第一端部接触的多个固定接触点的插槽板;和检查目标载体,其中检查目标载体包括容纳所述检查目标从而使所述检查接触点面朝所述探针的第二端部的检查目标容纳部分,和被插入于所述检查目标与所述探针支撑器之间并包括探针孔的底板元件,其中所述探针孔在与所述检查接触点对应的位置穿透底板元件并且所述探针的第二端部穿过所述探针孔。 | ||
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【主权项】:
一种半导体装置的检查设备,其用于检查具有多个电的检查接触点的检查目标的电特性,该检查设备包括:插槽组件,该插槽组件包括在纵向方向上可缩回的多个探针、支撑彼此平行的所述探针的探针支撑器、和包括与所述探针的第一端部接触的多个固定接触点的插槽板;和检查目标载体,该检查目标载体包括容纳所述检查目标从而使所述检查接触点面朝所述探针的第二端部的检查目标容纳部分,和被插入于所述检查目标与所述探针支撑器之间并包括探针孔的底板元件,其中所述探针孔在与所述检查接触点对应的位置穿透底板元件并且所述探针的第二端部穿过所述探针孔。
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