[发明专利]感光性树脂组合物及其层压体有效
| 申请号： | 201180069663.3 | 申请日： | 2011-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN103477283B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 姬田优香理;井出阳一郎 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033;G03F7/027;G03F7/029 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇,李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了作为抗蚀剂或抗镀覆剂等抗蚀材料的具有优异的分辨率和密合性的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物特征在于，含有（A）粘结剂聚合物20～90重量%、（B）光聚合性化合物5～75重量%和（C）光聚合引发剂0.01～30重量%，所述（A）粘结剂聚合物是通过使羧酸或羧酸酐的第一单体与具有1个聚合性不饱和基团且非酸性的第二单体共聚而获得的重均分子量5,000～100,000的共聚物，所述（B）光聚合性化合物是加聚性单体，且对上述感光性树脂组合物进行曝光、接着进行显影后获得的感光性树脂层的水接触角超过60°、且杨氏模量为1.5GPa以上且低于4GPa。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 及其 层压 | ||
【主权项】：
一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有(A)粘结剂聚合物：20～90重量％、(B)光聚合性化合物：5～75重量％和(C)光聚合引发剂：0.01～30重量％，所述感光性树脂组合物的烯属不饱和键的浓度为0.01～0.1mol/100g，所述(A)粘结剂聚合物是通过至少使第一单体以及第二单体共聚而获得的重均分子量为5000～100000的共聚物，所述第一单体为分子中具有1个聚合性不饱和基团的羧酸或羧酸酐，所述第二单体在分子中具有1个聚合性不饱和基团且是非酸性的，所述(B)光聚合性化合物是分子中具有至少一个末端烯属不饱和基团的加聚性单体，且按照21段斯托夫阶段式曝光表的5段的曝光量对所述感光性树脂组合物进行曝光、接着使用30℃、1质量％的碳酸钠水溶液用最小显影时间的2倍时间进行显影后所得的感光性树脂层的水接触角超过60°、且杨氏模量为1.5GPa以上且低于4GPa。
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