[发明专利]用于在涂覆工艺中钝化柔性基板的装置和方法有效
| 申请号： | 201180070477.1 | 申请日： | 2011-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN103502506A | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | G·霍夫曼;A·沃尔夫 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C14/56;C23C14/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于钝化柔性基板的涂层的装置包括涂敷腔室、腔室分隔元件、涂敷滚筒和进气口，所述涂敷腔室用于涂敷柔性基板，所述腔室分隔元件设置用于分隔所述涂敷腔室与另一腔室，所述涂敷滚筒和所述腔室分隔元件形成一缝隙，所述进气口设置在所述腔室分隔元件内，用于供应氧气进入所述缝隙内。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 工艺 钝化 柔性 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于钝化柔性基板涂层的装置，包含：涂敷腔室，所述涂敷腔室用于涂敷所述柔性基板；腔室分隔元件，所述腔室分隔元件设置用于分隔所述涂敷腔室与另一腔室；和涂敷滚筒，所述涂敷滚筒和所述腔室分隔元件形成一缝隙；进气口，所述进气口设置在所述腔室分隔元件内，用于供应氧气到所述缝隙内。
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