[发明专利]流量计有效
| 申请号： | 201180072233.7 | 申请日： | 2011-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN103649694A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 松本昌大;中野洋;半泽惠二;浅野哲 | 申请（专利权）人： | 日立汽车系统株式会社 |
| 主分类号： | G01F1/692 | 分类号： | G01F1/692 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种提高了耐腐蚀性的流量计。该流量计包括：具有形成有发热体的隔膜的硅基板；由形成在上述硅基板上的铝垫片和铝配线构成的铝膜；层叠在上述硅基板上的有机保护膜；和覆盖上述硅基板的模压树脂，其中，上述隔膜具有从上述有机保护膜露出的露出部，上述硅基板层叠有与上述模压树脂密合性高的密合膜，在上述露出部与上述铝膜之间具有上述模压树脂与上述密合膜的接合面。 | ||
| 搜索关键词： | 流量计 | ||
【主权项】：
一种流量计，其特征在于，包括：具有形成有发热体的隔膜的硅基板；由形成在所述硅基板上的铝垫片和铝配线构成的铝膜；层叠在所述硅基板上的有机保护膜；和覆盖所述硅基板的模压树脂，所述隔膜具有从所述有机保护膜露出的露出部，所述硅基板层叠有与所述模压树脂密合性高的密合膜，在所述露出部与所述铝膜之间具有所述模压树脂与所述密合膜的接合面。
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