[发明专利]一种偏置平板的调整装置有效
申请号: | 201210005087.2 | 申请日: | 2012-01-09 |
公开(公告)号: | CN103197519A | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 章富平;鲁武旺;李志丹 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00;G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种偏置平板的调整装置,设于调焦调平主框架板上用于调整偏置平板的角度,包括平面连杆机构和旋转电机,所述旋转电机固定设置于调焦调平主框架板上,所述偏置平板与所述调焦调平主框架板活动连接,所述旋转电机经所述平面连杆机构带动所述偏置平板旋转。本发明的偏置平板的调整装置采用平面连杆机构和旋转电机来实现对偏置平板的角度控制,一方面,由于可以通过调整平面连杆机构各杆件的长度来调整偏置平板的旋转精度,因此,可以降低对旋转电机的精度要求,同时可以降低制造成本和提高装置的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 偏置 平板 调整 装置 | ||
【主权项】:
一种偏置平板的调整装置,设于调焦调平主框架板上用于调整偏置平板的角度,其特征在于,包括平面连杆机构和旋转电机,所述旋转电机固定设置于调焦调平主框架板上,所述偏置平板与所述调焦调平主框架板活动连接,所述旋转电机经所述平面连杆机构带动所述偏置平板旋转。
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