[发明专利]一种透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统无效
| 申请号： | 201210009019.3 | 申请日： | 2012-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN103204637A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 何光俊;费红财;刘建军;李金成 | 申请（专利权）人： | 上海北玻玻璃技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/245 | 分类号： | C03C17/245 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201614 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其中，镀膜室通过镀膜室顶板和镀膜室端板形成腔体，在所述端板外侧设有真空隔离阀；在所述腔体顶板上安装有一阴极挡板，在所述阴极挡板上安装阴极磁控溅射装置，所述阴极磁控溅射装置利用磁控溅射进行镀膜，在所述腔体顶板上还安装抽气装置，将所述腔体内部形成真空；在所述腔体中设置辊道装置，用以传送玻璃；还包括加热冷却系统，分别设置在所述辊道装置的下方并固定所述腔体的主底板上以及所述阴极磁控溅射装置和所述抽气装置之间，所述加热冷却系统包括加热器和冷却器，所述冷却器设置在所述加热器的外侧。本发明为离线镀膜工艺提供了真空、磁场、加热及传动环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 导电 氧化物 镀膜 玻璃 真空 系统 | ||
【主权项】：
一种透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其特征在于，包括镀膜室，所述镀膜室通过镀膜室顶板和镀膜室端板形成腔体，在所述端板外侧设有真空隔离阀；在所述腔体顶板上安装有一阴极挡板，在所述阴极挡板上安装阴极磁控溅射装置，所述阴极磁控溅射装置利用磁控溅射进行镀膜，在所述腔体顶板上还安装抽气装置，将所述腔体内部形成真空；在所述腔体中设置辊道装置，所述辊道装置用以传送玻璃；还包括加热冷却系统，所述加热冷却系统分别设置在所述辊道装置的下方并固定所述腔体的主底板上以及所述阴极磁控溅射装置和所述抽气装置之间，所述加热冷却系统包括加热器和冷却器，用以加热所述腔体和冷却元件，所述冷却器设置在所述加热器的外侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海北玻玻璃技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司，未经上海北玻玻璃技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210009019.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
