[发明专利]一种提取互连线方块电阻的方法和装置

摘要

本发明提供一种提取互连线方块电阻的方法，设计并制造包括若干个区域的测试版图，通过测量测试版图每个区域的表面形貌信息和电阻提取测试版图每个区域的等效厚度和等效电阻率，结合模拟工具提取待提取版图中不同互连线线宽和/或线间距区域的互连线厚度，提取待提取版图中不同互连线线宽和/或线间距区域的互连线方块电阻。相应地，本发明还提供一种提取互连线方块电阻的装置。本发明的方法考虑了后续的CMP工艺可能带来的版图互连线厚度差异，对于版图的不同区域获得不同的方块电阻，在提取互连线寄生电阻时能够得到更为准确的电阻值。

主权项

一种提取互连线方块电阻的方法，其特征在于，包括步骤：设计并制造测试版图，所述测试版图包括若干个区域，所述若干个区域中每个区域的互连线线宽和/或线间距不同；测量所述测试版图每个区域的表面形貌信息和电阻；根据所述表面形貌信息提取所述测试版图每个区域的等效厚度；根据所述电阻值和等效厚度提取所述测试版图每个区域的等效电阻率；提取待提取版图不同区域的互连线厚度，所述待提取版图与测试版图采用相同工艺制造，所述待提取版图不同区域的互连线线宽和/或线间距不同；根据所述待提取版图不同区域的互连线厚度与测试版图相应区域的等效电阻率提取所述待提取版图不同区域的互连线方块电阻。