[发明专利]一种蒸镀用掩模板的加工工艺、返修工艺无效
| 申请号： | 201210010715.6 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103205692A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;郑庆靓;孙倩 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23F1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种蒸镀用掩模板的加工工艺、返修工艺，所述加工工艺包括：蚀刻金属掩模板，形成最终的开口；对掩模板开口尺寸进行检测，判断是否合格；若开口的上下尺寸与中间尺寸的差大于设定值，则采用喷砂微处理对开口不合格掩模板进行返修，对开口处的凸起进行喷砂处理；使开口的上下尺寸与中间尺寸的差符合设定要求。通过本发明提出的蒸镀用掩模板的加工工艺、返修工艺，用间接手段解决了蚀刻工艺中由于侧蚀导致的开口上下面大、中间小的现象，提高开口尺寸精度及生产合格率,降低报废率；同时提高了蒸镀过程中有机蒸镀材料的成膜率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀用掩 模板 加工 工艺 返修 | ||
【主权项】：
一种蒸镀用掩模板的加工工艺，其特征在于，包括：步骤S1：蚀刻开始，金属掩模板的部分表面被图形所保护，其余金属掩模板表面和蚀刻液接触，此时蚀刻垂直向深度进行；步骤S2：当金属掩模板的上表面被蚀刻到一定深度后，裸露的两侧出现新的金属掩模板面，这时蚀刻液除向垂直方向之外还向两侧进行蚀刻；步骤S3：蚀刻金属掩模板的下表面，蚀刻垂直向深度进行；步骤S4：蚀刻完成，形成最终的开口；步骤S5：对掩模板开口尺寸进行检测，判断是否合格；若开口的上下尺寸与中间尺寸的差大于设定值，转向步骤S6；步骤S6：采用喷砂微处理对开口不合格掩模板进行返修，对开口处的凸起进行喷砂处理；使开口的上下尺寸与中间尺寸的差符合设定要求。
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