[发明专利]光刻设备和器件制造方法有效
| 申请号： | 201210010955.6 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN102608871A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | M·J·E·G·布瑞克尔斯;马赛尔·弗兰克斯·赫尔特杰斯;N·J·M·博施 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴敬莲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻设备和器件制造方法。所述光刻设备包括：用于容纳物体W的载物台WT；用于移动所述载物台的致动器；和用于将所述物体W转移至所述载物台WT或从所述载物台WT转移物体W的输送装置HW。所述光刻设备设置有与所述致动器和/或所述输送装置可操作地连接的控制器。所述控制器被编程和/或布置以驱动所述致动器和所述输送装置，以便保证在沿着所述物体转移至所述载物台或从所述载物台转移所述物体的转移方向的转移期间，所述载物台和所述输送装置在垂直于转移方向的方向基本上相互跟随。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 设备 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻设备，包括：(a)用于容纳物体的载物台；(b)用于移动所述载物台的致动器；(c)用于将所述物体转移至所述载物台或从所述载物台转移物体的输送装置；(d)与所述致动器和/或所述输送装置可操作地连接的控制器，其中所述控制器被编程和/或布置以驱动所述致动器和所述输送装置，以便使得在沿着所述物体转移至所述载物台或从所述载物台转移所述物体的转移方向的转移期间所述载物台和所述输送装置在垂直于转移方向的方向基本上相互跟随。
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