[发明专利]半导体设备工艺控制方法和半导体设备工艺控制装置有效

专利信息
申请号: 201210019265.7 申请日: 2012-01-19
公开(公告)号: CN103215572A 公开(公告)日: 2013-07-24
发明(设计)人: 陆涛 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: C23C16/52 分类号: C23C16/52;C23C16/54
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;张天舒
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种半导体设备工艺控制方法和半导体设备工艺控制装置。该方法包括:识别传输至当前腔室中的加工件;从预先设置的与加工件对应的加工件操作参数中读取当前腔室对应的操作参数,加工件操作参数包括加工件在每个腔室对应的操作参数;根据当前腔室对应的操作参数,对加工件进行工艺处理。本发明提供的技术方案中,通过为每个加工件设置与该加工件对应的加工件操作参数,使半导体设备实现了针对每个加工件执行不同的工艺处理流程,当需要对某一加工件执行某一工艺处理时仅需根据读取出的操作参数执行相应的工艺处理即可,无需停止正常的工艺操作流程,从而减少了生产时间,提高了生产效率和产品产量。
搜索关键词: 半导体设备 工艺 控制 方法 装置
【主权项】:
一种半导体设备工艺控制方法,其特征在于,包括:识别传输至当前腔室中的加工件;从预先设置的与所述加工件对应的加工件操作参数中读取当前腔室对应的操作参数,所述加工件操作参数包括所述加工件在每个腔室对应的操作参数;根据所述当前腔室对应的操作参数,对所述加工件进行工艺处理。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司,未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201210019265.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code