[发明专利]真空传输制程设备及方法

摘要

本发明公开了一种真空传输制程设备及方法。该设备包括：一真空制程腔，包括一加工区域、一第一等待区域以及一第二等待区域；一能够在大气状态与真空状态之间切换的进出件腔；多个传输平台，用于承载工件从大气环境进入该进出件腔、从该进出件腔经过该第一等待区域或该第二等待区域进入该加工区域、在该加工区域中完成工件加工、从该加工区域经过该第一等待区域或该第二等待区域移回该进出件腔、然后从该进出件腔移回大气环境，且各传输平台用于依次连续地在该加工区域中完成工件加工。本发明仅设计了一个进出件腔便实现了工件的连续进出真空环境以及对工件的连续加工，由此实现了对加工介质的100％利用，从而极大地提高了加工效率。

主权项

一种真空传输制程设备，其特征在于，其包括：一真空制程腔，包括一加工区域、位于该加工区域一侧的一第一等待区域以及位于该加工区域另一侧的一第二等待区域，该加工区域中设有一个或两个以上的用于利用加工介质对工件进行加工的加工装置；一能够在大气状态与真空状态之间切换的进出件腔，当该进出件腔处于真空状态时，该进出件腔的接近该加工区域该侧的一端能够与该第一等待区域连通、该进出件腔的接近该加工区域该另一侧的一端能够与该第二等待区域连通；多个传输平台，用于承载工件从大气环境进入该进出件腔、从该进出件腔经过该第一等待区域或该第二等待区域进入该加工区域、在该加工区域中完成工件加工、从该加工区域经过该第一等待区域或该第二等待区域移回该进出件腔、然后从该进出件腔移回大气环境，且各传输平台用于依次连续地在该加工区域中完成工件加工。