[发明专利]加工装置有效
申请号: | 201210023465.X | 申请日: | 2012-02-02 |
公开(公告)号: | CN102629566A | 公开(公告)日: | 2012-08-08 |
发明(设计)人: | 高桥聪;安田信哉;寺师健太郎 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683;B23K26/38 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 党晓林;王小东 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种能够不搭载昂贵的线性标尺单元而是利用比较廉价的机构实现高精度的定位的加工装置。加工装置具备:可动部;移动构件,其包括马达和滚珠丝杠;以及控制移动构件的控制构件,加工装置具备用于检测可动部从基准距离的始点移动至终点这一情况的简易标尺单元,控制构件包括:存储在预定的时刻使马达旋转从而使可动部从基准距离的始点移动至终点时的马达的旋转角的旋转角存储部;根据该旋转角和基准距离计算出每单位旋转所对应的可动部的移动距离的单位旋转角移动距离计算部;基于该每单位旋转所对应的移动距离计算出使可动部移动预定距离所需的旋转角的旋转角计算部;以及使马达旋转该旋转角的量来使可动部移动该预定距离的马达控制部。 | ||
搜索关键词: | 加工 装置 | ||
【主权项】:
一种加工装置,所述加工装置具备:可动部;移动构件,所述移动构件包括使所述可动部移动的马达和滚珠丝杠;以及控制构件,所述控制构件控制所述移动构件,所述加工装置的特征在于,所述加工装置具备简易标尺单元,所述简易标尺单元用于检测该可动部从基准距离的始点移动至终点这一情况,所述控制构件包括:旋转角存储部,所述旋转角存储部存储旋转角,该旋转角是在预定的时刻使所述马达旋转、从而使所述可动部从所述基准距离的始点移动至终点时的所述马达的旋转角;单位旋转角移动距离计算部,所述单位旋转角移动距离计算部根据由所述旋转角存储部存储的旋转角和所述基准距离来计算出每单位旋转所对应的所述可动部的移动距离;旋转角计算部,所述旋转角计算部基于由所述单位旋转角移动距离计算部计算出的所述每单位旋转所对应的移动距离,计算出使所述可动部移动预定距离所需要的所述马达的旋转角;以及马达控制部,所述马达控制部使所述马达旋转由所述旋转角计算部计算出的所述旋转角的量,从而使所述可动部移动所述预定距离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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