[发明专利]固态图像拾取装置、其制造方法和图像拾取系统

摘要

本发明涉及一种固态图像拾取装置、其制造方法和图像拾取系统。提供一种用于制造固态图像拾取装置的方法。所述图像拾取装置包括光电转换部分、在光电转换部分之上的第一绝缘膜、在第一绝缘膜上的第二绝缘膜、以及波导，所述光电转换部分设置在半导体衬底上，所述第一绝缘膜用作抗反射膜，所述第二绝缘膜与所述光电转换部分对应地设置，所述波导具有包层和芯，所述芯的底部设置在第二绝缘膜上。所述方法包括通过各向异性蚀刻设置在光电转换部分之上的部件的一部分来形成开口，从而形成包层，并在所述开口中形成芯。在所述方法中，在第二绝缘膜的蚀刻速率低于所述部件的蚀刻速率的条件下执行所述蚀刻。

主权项

一种用于制造固态图像拾取装置的方法，所述固态图像拾取装置包括光电转换部分、第一绝缘膜、在所述第一绝缘膜上的第二绝缘膜、以及波导，所述光电转换部分设置在半导体衬底中，所述第一绝缘膜用作所述光电转换部分之上的抗反射膜，所述第二绝缘膜与所述光电转换部分对应地设置，所述波导具有包层和芯，所述芯的底部设置在所述第二绝缘膜上，所述方法包括：通过在设置在所述光电转换部分之上的部件被蚀刻得比所述第二绝缘膜快的条件下部分蚀刻所述部件来形成开口，从而形成所述包层，以及在所述开口中形成所述芯。