[发明专利]一种丙烯酸正性光刻胶及其制备方法

摘要

本发明公开了一种丙烯酸正性光刻胶及其制备方法，是在无尘、黄光条件下，按聚丙烯酸树脂5～30wt%，光致酸发生剂1～20wt%，含有多个羟基的酯5～40wt%，丙二醇甲醚醋酸酯30～60wt%的重量百分比，包括以下步骤制备：（1）向丙二醇甲醚醋酸酯中加入含有多个羟基的酯；（2）将步骤（1）的物质搅拌6～10个小时形成混合溶液；（3）向所述混合溶液中加入聚丙烯酸树脂、光致酸发生剂；（4）将（3）得到的组合物搅拌20～30小时，得到所述丙烯酸正性光刻胶。根据本发明配制的丙烯酸正性光刻胶具有衍射作用小、分辨率及灵敏度高、反差大以及透过性好、抗蚀刻能力强等优点。

主权项

一种丙烯酸正性光刻胶，其特征在于：所述正性光刻胶由包括以下重量百分比的原料制备而成：聚丙烯酸树脂                   5～30wt%，              光致酸发生剂                   1～20wt%，含有多个羟基的酯               5～40wt%，丙二醇甲醚醋酸酯               30～60wt%。