[发明专利]一种单晶炉整体无效
申请号: | 201210039066.2 | 申请日: | 2012-02-21 |
公开(公告)号: | CN102560624A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 黄永明;王建文;陈永华 | 申请(专利权)人: | 浙江百隆机械有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 322300 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种单晶炉整体,包括机架、炉底盘、下炉膛、上炉膛、炉盖、上炉体、水平调整支架、籽晶提升装置,所述的机架内设有空腔,空腔内安装有坩埚提升装置,机架上摆放有炉底盘,下炉膛和上炉膛连接在一起,摆放在炉底盘上,炉盖盖在上炉膛顶部,炉盖通过隔离阀腔连接上炉体,上炉体侧面通过提升架连接双立柱,水平调整支架通过转轴连接籽晶提升装置。本发明的下炉膛、上炉膛、炉盖和上炉体都由内罩、外罩组成,内外罩之间形成冷却层,冷却层内时刻流通冷水,降低炉体表面的问题,减少了设备的损耗程度,也提高了安全性,延长设备的使用寿命,长期使用不需充磁。安全节能、使用寿命长、提高生产效率、降低生产成本,增加企业效益。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 整体 | ||
【主权项】:
一种单晶炉整体,包括机架(1)、炉底盘(2)、下炉膛(3)、上炉膛(4)、炉盖(5)、上炉体(7)、水平调整支架(9)、籽晶提升装置(10),其特征在于,所述的机架(1)内设有空腔,空腔内安装有坩埚提升装置(12),机架(1)上摆放有炉底盘(2),下炉膛(3)和上炉膛(4)连接在一起,摆放在炉底盘(2)上,炉盖(5)盖在上炉膛(4)顶部,炉盖(5)通过隔离阀腔(6)连接上炉体(7),上炉体(7)侧面通过提升架连接双立柱(11),上炉体(1)上端设有延长筒(8),延长筒(8)上方为水平调整支架(9),水平调整支架(9)通过转轴连接籽晶提升装置(11)。
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