[发明专利]一种大型扩散泵真空机组的高真空阀门有效
| 申请号： | 201210040238.8 | 申请日： | 2012-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN102588618A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;李志方;罗志明;李秋霞 | 申请（专利权）人： | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/20 | 分类号： | F16K1/20;F16K31/12;F16K51/02 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 周克佑 |
| 地址： | 523838 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大型扩散泵真空机组的高真空阀门，包括由上阀体和下阀体组成的阀体，所述的上阀体和下阀体之间设有阀盖和开孔的阀座板连通或关闭上阀体和下阀体，所述的上阀体和下阀体两者处于同一水平，所述的阀座板45度倾斜设置，所述的阀盖的一侧通过水平轴铰接在上阀体上。本发明通过将上、下阀体水平设置和把原来阀盖相对阀座板垂直上、下升降运动改成阀盖相对阀座板翻转45度开合运动，大大降低了高真空阀门的高度，从而可大大降低设备的整体高度，解决了现有技术中大型镀膜设备对厂房高度的要求较高的问题，使其能适应普遍的楼层的高度，大大提高了大型镀膜设备的适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大型 扩散 真空机组 真空 阀门 | ||
【主权项】：
一种大型扩散泵真空机组的高真空阀门，包括由上阀体和下阀体组成的阀体，所述的上阀体和下阀体之间设有阀盖和开孔的阀座板连通或关闭上阀体和下阀体，其特征是：所述的上阀体和下阀体两者处于同一水平，所述的阀座板45度倾斜设置，所述的阀盖的一侧通过水平轴铰接在上阀体上。
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