[发明专利]硅片清洗周转盒无效
| 申请号： | 201210041706.3 | 申请日： | 2012-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN102553874A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 王秦伟;蔺雷亭;王欣;何晋康 | 申请（专利权）人： | 高佳太阳能股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 杨小双 |
| 地址： | 214174 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种硅片清洗周转盒，包括盒体，所述盒体内设置有托架，所述托架开有至少一个用于放置硅片的V字型槽；所述硅片清洗周转盒便于硅片的取放操作；托架表面覆盖的橡胶垫可有效减小硅片取放过程中受到的冲击力和压力，同时，其配合托架V字型槽的设计，有效防止了硅片滑动，减少了硅片碎裂几率；且托架的宽度小于硅片的宽度，使得托架上的硅片两边留有握取空间，便于硅片的取放操作；此外，托架可拆卸式的设计，无需更换盒体中的水，就可以直接清理托架表面残留的碎硅屑，减少碎硅屑对硅片边缘的破坏，工作效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 周转 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗周转盒，包括盒体，其特征在于：所述盒体内设置有托架，所述托架开有至少一个用于放置硅片的V字型槽。
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