[发明专利]一种在玻璃基板上沉积致密钛酸锶钡薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种在玻璃基板上沉积致密钛酸锶钡薄膜的方法，包括以下步骤：步骤1：配置前驱液溶液；步骤2：将配置好的前驱液溶液联同烧杯放入真空箱中进行真空处理，至前驱液溶液没有气泡排出；步骤3：将有OTS单分子膜的亲水性玻璃基板放入真空处理后的前驱液溶液中进行薄膜的自组装生长；步骤4：最后将沉积好的薄膜于600℃条件下进行2h的退火处理；最终得到致密的钛酸锶钡薄膜。本发明方法利用真空处理前驱液技术与多次诱导吸附液相自组装法在玻璃基板制备出致密的钛酸锶钡薄膜，其不但能够达到高表面致密度，而且功能化均匀、处理工艺流程简单、操作方便。

主权项

一种在玻璃基板上沉积致密钛酸锶钡薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：配置前驱液溶液：将Ba(NO3)2，Sr(NO3)2，(NH4)2TiF6，H3BO3分别放入4个烧杯中；然后向4个烧杯中分别加入去离子水，超声波振荡均匀，振荡后将四种溶液倒入一个烧杯中，定容使Ba(NO3)2的浓度为0.002mol/L，Sr(NO3)2的浓度为0.008mol/L，(NH4)2TiF6的浓度为0.01mol/L，H3BO3的浓度为0.03mol/L；最后置于磁力搅拌器上搅拌均匀，然后滴加稀硝酸调节pH值为2.0～3.1，使溶液澄清透明即得前驱液溶液；步骤2：将配置好的前驱液溶液联同烧杯放入真空箱中进行真空处理，开启真空泵，真空压力调节为‑0.2Kg/cm2，抽真空时间为30‑60mins，至使前驱液溶液没有气泡排出；步骤3：将有OTS单分子膜的亲水性玻璃基板放入真空处理后的前驱液溶液中进行薄膜的自组装生长，沉积温度为50℃，沉积时间为18～24h，沉积完成后将玻璃基板在120℃干燥12h；步骤4：最后将沉积好的薄膜于600℃条件下进行2h的退火处理；得到致密的钛酸锶钡薄膜。