[发明专利]一种PECVD用的双面电极孔石墨舟

摘要

本发明公开了一种双面电极孔的石墨舟，属于太阳能光伏领域。为了解决操作员工混淆使用推车，导致石墨舟与电极杆的顶撞而导致双方损坏的问题，本发明包括石墨舟本体，该石墨舟本体由石墨舟本体由奇电极板和偶电极板、上电极中间隔块、下电极中间隔块、对称下电极中间隔块、电极隔块与石墨舟脚组成，所述石墨舟本体两端均开有两个电极孔，且每一端的两个电极孔中，上部的电极孔设置在上电极中间隔块上，下部的电极孔分别设置在下电极中间隔块与对称下电极中间隔块上；所述石墨舟本体两端的两个电极孔之间的距离相等。本发明在同一石墨舟两端均设计有对应电极杆插入的电极孔，可有效地解决石墨舟推车在左右手操作设备之间互换使用问题。

主权项

一种PEC VD用的双面电极孔的石墨舟，包括与电极杆(1)相连的石墨舟本体，其特征是，所述石墨舟本体由位于奇数次的奇电极板(2)、位于偶数次的偶电极板(3)、上电极中间隔块(4)、下电极中间隔块(5)、对称下电极中间隔块(6)、电极隔块(8)和石墨舟脚(9)组成，所述石墨舟本体两端均开有两个电极孔，且每一端的两个电极孔中，其中，位于上部的电极孔均设置在位于石墨舟本体两端的上电极中间隔块(4)上，下部电极孔分别设置在所述下电极中间隔块(5)与对称下电极中间隔块(6)上，该下电极中间隔块(5)与对称下电极中间隔块(6)分别设在石墨舟本体的两端；所述石墨舟本体两端的两个电极孔之间的距离相等。