[发明专利]带有复合钝化膜的大功率器件无效
| 申请号： | 201210046231.7 | 申请日： | 2012-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN103295974A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 许志峰 | 申请（专利权）人： | 江苏东光微电子股份有限公司;宜兴市东晨电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/29 | 分类号： | H01L23/29 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 夏平 |
| 地址： | 214205 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种带有复合钝化膜的大功率器件，在大功率器件的PN结表面，从内至外依次为多晶硅薄膜（1）、掺氧多晶硅薄膜SIPOS（2）、玻璃（3）和氧化硅薄膜（4）。本发明的带有复合钝化膜的大功率器件，相比于传统的PN结表面单一玻璃钝化防护层的结构，采用PN结表面多层防护结构，由于其对于界面所有电荷具有自动调节、补偿、屏蔽、消除作用，彻底消除了击穿电压突变现象，使器件在高温、高湿、强电场等恶劣条件下也能长时间工作；并且相比传统的PN结表面玻璃钝化层可提高PN结的击穿电压。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 复合 钝化 大功率 器件 | ||
【主权项】：
一种带有复合钝化膜的大功率器件，其特征是在大功率器件的PN结表面，从内至外依次为多晶硅薄膜（1）、掺氧多晶硅薄膜SIPOS（2）、玻璃（3）和氧化硅薄膜（4）。
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