[发明专利]静电卡盘的制法及静电卡盘有效
| 申请号： | 201210088751.4 | 申请日： | 2012-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102731072A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 木村拓二;高桥贵博;中西宏和 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/10 | 分类号： | C04B35/10;C04B35/622;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;於毓桢 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种静电卡盘的制法及静电卡盘，该静电卡盘的制法包含：(a)在将静电电极前体(24)可装卸地安装于内面的第1成型模(31)中，流入含有陶瓷粉体、溶剂、分散剂及胶凝剂的陶瓷料浆，使胶凝剂进行化学反应而使陶瓷料浆凝胶化后进行脱模，由此制作在第1陶瓷成型体(41)中埋入静电电极前体(24)的带埋入电极陶瓷成型体(41X)的工序；(b)制作第2陶瓷成型体(42)的工序；(c)使用带埋入电极陶瓷成型体(41X)和第2陶瓷成型体(42)来制作层叠煅烧体(50)，热压烧成该层叠煅烧体的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 卡盘 制法 | ||
【主权项】：
一种静电卡盘的制法，其是对以夹入规定形状的静电电极或其前体的方式将一对陶瓷煅烧体重叠而成的层叠煅烧体进行热压烧成，由此来制作静电卡盘的静电卡盘的制法，包含：工序(a)在将所述静电电极或其前体可装卸地安装于内面的第1成型模中，流入含有陶瓷粉体、溶剂、分散剂及胶凝剂的陶瓷料浆，使所述胶凝剂进行化学反应而使所述陶瓷料浆凝胶化后进行脱模，由此制作在第1陶瓷成型体中埋入有所述静电电极或其前体的带埋入电极陶瓷成型体；工序(b)制作第2陶瓷成型体；工序(c)使用所述带埋入电极陶瓷成型体和所述第2陶瓷成型体来制作所述层叠煅烧体，热压烧成该层叠煅烧体。
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