[发明专利]一种有机薄膜晶体管阵列基板的制作方法有效
| 申请号： | 201210088843.2 | 申请日： | 2012-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102683593A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 张学辉;薛建设;刘翔 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/40 | 分类号： | H01L51/40 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种有机薄膜晶体管阵列基板的制作方法，包括以下步骤：通过构图工艺分别形成包括栅电极、栅线、绝缘层、有机半导体层、阻挡层、源电极、漏电极以及数据线的图形，其中，所述有机半导体层和阻挡层的图形通过一次构图工艺形成。本发明所述有机薄膜晶体管阵列基板的制作方法与现有技术相比，能够进一步减少构图工艺次数，即只需采用四次构图工艺，因而提高了生产效率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机 薄膜晶体管 阵列 制作方法 | ||
【主权项】：
一种有机薄膜晶体管阵列基板的制作方法，包括以下步骤：通过构图工艺分别形成包括栅电极、栅线、绝缘层、有机半导体层、阻挡层、源电极、漏电极以及数据线的图形，其特征在于，所述有机半导体层和阻挡层的图形通过一次构图工艺形成。
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H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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H01L51-52 ..器件的零部件
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