[发明专利]一种非破坏性检测表面形貌的方法有效
| 申请号： | 201210090888.3 | 申请日： | 2012-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN103363946A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 宫建茹;崔金磊 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20;G01B21/30 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 郭广迅 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种非破坏性检测表面形貌的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：1)将紫外感光材料涂覆在待测物体的表面；2)采用紫外光照射使所述紫外感光材料固化，然后将固化后的紫外感光材料剥离，得到拓印膜；3)使用原子力显微镜扫描所述拓印膜，得到拓印膜的表面形貌；4)将所述拓印膜的表面形貌进行数据翻转，得到待测物体的表面形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 破坏性 检测 表面 形貌 方法 | ||
【主权项】：
一种非破坏性检测表面形貌的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：1)将紫外感光材料涂覆在待测物体的表面；2)采用紫外光照射使所述紫外感光材料固化，然后将固化后的紫外感光材料剥离，得到拓印膜；3)使用原子力显微镜扫描所述拓印膜，得到拓印膜的表面形貌；4)将所述拓印膜的表面形貌进行数据翻转，得到待测物体的表面形貌。
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