[发明专利]压电振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟无效
申请号: | 201210099478.5 | 申请日: | 2012-03-29 |
公开(公告)号: | CN102739181A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 船曳阳一 | 申请(专利权)人: | 精工电子有限公司 |
主分类号: | H03H3/02 | 分类号: | H03H3/02;H03H9/02;G04C9/02 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 何欣亭;朱海煜 |
地址: | 日本千叶*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明减小各压电振动器的基底基板和盖基板的接合宽度(L)的值。在基底基板用圆片(40)形成多个具备2个贯通电极(7)的基底基板(2),在各基底基板(2)装配压电元件片(4)。另外,在盖基板用圆片(50)形成多个具备凹部(3a)的盖基板(3),并形成接合膜(35)。通过将该基底基板用圆片(40)和盖基板用圆片(50)对接并阳极接合而制作由多个压电振动器(1)构成的圆片体(60)。随后,在盖基板用圆片(50)侧,沿着各压电振动器(1)的切断线照射激光而添加微小槽(813),由锐利的按压刀(830)从相反侧按压,由此,依次切断。通过这样从相反侧按压微小槽,效率良好且彻底地分割圆片体(60)。 | ||
搜索关键词: | 压电 振动器 制造 方法 振荡器 电子设备 电波 | ||
【主权项】:
一种压电振动器的制造方法,使用基底基板用圆片和盖基板用圆片来制造多个在形成于互相接合的基底基板与盖基板之间的空腔内密封有压电振动片的压电振动器,其特征在于该方法具备:接合工序,将所述压电振动片收纳于各个所述空腔,将所述基底基板用圆片和所述盖基板用圆片接合而形成圆片体;和切断工序,将所述圆片体切断而小片化成多个所述压电振动器,其中,所述切断工序具备:在所述基底基板用圆片侧的外表面或所述盖基板用圆片侧的外表面沿着切断线形成多个微小槽的工序;和断裂工序,从与所述圆片体的形成有所述微小槽的一侧相反的一侧按压所述圆片体,沿着所述微小槽分割所述圆片体。
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