[发明专利]光学测量装置和光学测量方法无效
| 申请号： | 201210106376.1 | 申请日： | 2012-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN102645437A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 陈大志;郑媛;孙晓伟;史伟杰 | 申请（专利权）人： | 法国圣戈班玻璃公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 朱胜;陈炜 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 一种光学测量装置和光学测量方法，用于测量透明基板，所述光学测量装置包括：照明单元，用于照亮所述透明基板的待测面；成像单元，用于使所述待测面成像；数据获取单元，位于所述待测面的像面位置处，用于根据所述待测面像获取待测面的缺陷信息。所述光学测量方法包括：提供透明基板；提供照明光，使所述照明光照亮所述透明基板的待测面；使所述透明基板的待测面成像，形成待测面像；基于所述待测面像，获取待测面的缺陷信息。本发明可以获得较高的测量准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种光学测量装置，用于测量透明基板，其特征在于，包括：照明单元，用于照亮所述透明基板的待测面；成像单元，用于使所述待测面成像；数据获取单元，位于所述待测面的像面位置处，用于根据所述待测面像获取待测面的缺陷信息。
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