[发明专利]多晶硅太阳电池制程中所用混酸溶液的检测方法有效
| 申请号： | 201210112213.4 | 申请日： | 2012-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN102621273A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 牛春晓;吴卫伟;安子凤;黄高山 | 申请（专利权）人： | 昊诚光电（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | G01N31/16 | 分类号： | G01N31/16;G01N31/22;G01N31/20;G01N25/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;汪青 |
| 地址： | 215400 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅太阳电池制程中所用混酸溶液的检测方法，用于检测由氢氟酸、硝酸和氟硅酸构成的混酸体系，包括以下步骤：先通过酸碱中和的方法检测出溶液中的总酸浓度；然后将经酸碱中和后的溶液加热煮沸，使氟硅酸盐分解产生氢离子，用碱液滴定测出氢离子含量进而计算得到氟硅酸浓度；再利用氧化还原滴定法检测出混酸溶液中硝酸的浓度；最后用总酸浓度减去氟硅酸和硝酸的浓度，则可获得氢氟酸的浓度。本发明流程简单易操作，使用人工少，不需要高端设备，经济投入少，检测准确性在95%以上，可用于长期实时监控多晶硅太阳电池片生产过程中的制绒工序工艺、湿刻工艺及设备的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 太阳电池 制程中 所用 溶液 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅太阳电池制程中所用混酸溶液的检测方法，用于检测由氢氟酸、硝酸和氟硅酸构成的混酸体系，其特征在于：所述检测方法包括以下步骤：（1）、通过碱液滴定的方法先检测出混酸溶液中的总酸浓度c(总H+)，使酸转化成盐；（2）、通过加热经过步骤（1）酸碱中和后的溶液，使氟硅酸盐分解产生氢离子，再用碱液滴定而检测出该氢离子的浓度，进而计算出氟硅酸的浓度c(H2SiF6)；（3）、通过向所述混酸溶液中先后加入硫酸亚铁铵和高锰酸钾的氧化还原滴定法检测出混酸溶液中硝酸的浓度c(HNO3)；（4）、通过公式（Ⅰ）的计算，得出氢氟酸的浓度c(HF)；c(HF)= c(总H+)‑2×c(H2SiF6)‑c(HNO3)（Ⅰ）。
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