[发明专利]一种高透过率低反射率的减反射膜镀膜方法有效
申请号: | 201210147042.9 | 申请日: | 2012-05-14 |
公开(公告)号: | CN102732830A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 江河 | 申请(专利权)人: | 南昌欧菲光科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/22;G02B1/11 |
代理公司: | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人: | 施秀瑾 |
地址: | 330000 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明涉及一种高透过率低反射率的减反射膜镀膜方法,是数码相机视窗玻璃、滤光片的关键技术,该技术还可应用于防辐射玻璃、隔温玻璃、车窗玻璃、太阳能利用等多种领域。在真空镀膜设备中由以下步骤完成:(1)抽真空(2)加热(3)离子清洗(Ar+O2)(4)镀SiO2(5)全氧气氛刻蚀(只充O2)(6)镀TiO2(7)全氧气氛刻蚀(只充O2),重复步骤(4)-(7)直到膜系结束。在不增加真空镀膜设备要求的条件下,提高AR膜在400-700纳米光波长区域的透过率,进一步降低反射率。 | ||
搜索关键词: | 一种 透过 反射率 减反射膜 镀膜 方法 | ||
【主权项】:
一种高透过率低反射率的减反射膜镀膜方法,其特征在于在真空镀膜设备中由以下步骤完成:(1)、常规抽真空步骤;(2)、常规加热步骤;(3)、Ar+O2的离子清洗步骤;(4)、在膜上镀SiO2;(5)、在全氧气氛刻蚀,炉内气压可与镀膜阶段相同,时间一般2‑5分钟;同时使用脉冲电源为离子源电源的离子活化处理,使得在脉冲电场的作用下,镜片表面的原有低价离子振荡加剧,活跃程度增大,更容易进一步失去电子,与氧形成牢固、稳定的化学键结构;(6)、在膜上镀TiO2; (7)、在全氧气氛刻蚀,炉内气压可与镀膜阶段相同,时间一般2‑5分钟;同时使用脉冲电源为离子源电源的离子活化处理,使得在脉冲电场的作用下,镜片表面的原有低价离子振荡加剧,活跃程度增大,更容易进一步失去电子,与氧形成牢固、稳定的化学键结构;重复步骤(4)‑(7)直到膜系结束。
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