[发明专利]蒸气输送装置及其制造和使用方法有效
| 申请号： | 201210164827.7 | 申请日： | 2012-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN102794136A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | E·沃克;R·L·小迪卡洛 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01J4/00 | 分类号： | B01J4/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 江磊 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种方法，该方法包括将载气的第一物流传输到包括固体前体化合物的输送装置。所述载气的第一物流的温度等于或高于20℃。所述方法还包括将载气的第二物流传输到输送装置下游的位置。所述第一物流和第二物流合并，形成第三物流，使得第三物流中的所述固体前体化合物的蒸气的露点低于常温。所述第一物流的流动方向,第二物流的流动方向以及第三物流的流动方向是单向的，不是彼此反向的。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸气 输送 装置 及其 制造 使用方法 | ||
【主权项】：
一种输送系统，其包括：输送装置，所述输送装置具有入口和出口;所述输送装置包含固体前体;第一比例阀;所述第一比例阀与所述输送装置的入口连通;所述第一比例阀根据施加的电压进行操作，用来控制载气的第一物流流向所述输送装置的流量;第二比例阀;所述第二比例阀与所述输送装置的出口连通;所述第二比例阀根据施加的电压进行操作，用来控制载气的第二物流流向所述输送装置的流量;混合装置；所述混合装置位于所述输送装置的下游，所述混合装置进行操作来将所述第一物流与第二物流混合;化学传感器;所述化学传感器设置在所述混合室的下游，所述化学传感器进行操作来分析从所述混合室排出的流体物流的化学含量;所述化学传感器与所述第一比例阀连通;以及第一压力/流量控制器，所述第一压力/流量控制器与所述化学传感器和第一比例阀操作连通;所述输送系统进行操作，向与所述输送系统连通的多个反应器输送基本恒定摩尔数前体蒸气/单位体积载气。
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