[发明专利]无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法无效
| 申请号： | 201210173904.5 | 申请日： | 2012-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102736935A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 张爱明;蒋兴华 | 申请（专利权）人： | 合肥芯硕半导体有限公司 |
| 主分类号： | G06F9/445 | 分类号： | G06F9/445;G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥金安专利事务所 34114 | 代理人： | 金惠贞 |
| 地址： | 230601 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及无掩膜直写光刻机的数据处理领域，具体为一种无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法。本方法包括以下步骤：1）、通过计算机加载待曝光的图形文件，并确定需要添加到图形文件中去的字符或者字符串的位置、大小和组成；2）、计算机在字符库中寻找到所需要添加的字符或者字符串，并将字符或者字符串按照指定的位置和大小输入到所述图形文件中，然后保存即完成整个添加过程。本发明解决了在扫描式无掩膜光刻机曝光过程中如何实时添加字符串的问题，满足了在光敏感媒介上产生标志、序列号以及日期的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 无掩膜 光刻 曝光 实时 添加 字符串 方法 | ||
【主权项】：
一种无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法，其特征在于包括以下步骤：1）、通过计算机加载待曝光的图形文件，并确定需要添加到图形文件中去的字符或者字符串的位置、大小和组成；2）、计算机在字符库中寻找到所需要添加的字符或者字符串，并将字符或者字符串按照指定的位置和大小输入到所述图形文件中，然后保存即完成整个添加过程。
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