[发明专利]基板表面处理设备无效
| 申请号： | 201210175447.3 | 申请日： | 2012-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN103422052A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 萧盈诗 | 申请（专利权）人： | 核心能源实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;B05D3/00;B05D3/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种基板表面处理设备，其中包含一腔体，一紫外光源灯，加热装置，黑体辐射板，及抽真空装置。此设备能进行基板表面处理，基板表面处理设备可对基板表面进行清洗或改质，故在薄膜沉积之前进行基板的表面清洗或改质后，可使基板的表面在进行薄膜沉积或胶状悬浮液涂布时，具有良好的接着性。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种基板表面处理设备，包括：一腔体，其内部具有一顶端及一相对该顶端另一侧的底端，而于该顶端及该底端间形成一个容置空间；至少一紫外光源灯，配置于该顶端的下方；一加热装置，配置于该底端上方；及一黑体辐射板，配置于该腔体的该容置空间内，并介于该些紫外光源灯与该加热装置之间。
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