[发明专利]光电元件及其制造方法有效
申请号: | 201210179344.4 | 申请日: | 2012-06-01 |
公开(公告)号: | CN103456847B | 公开(公告)日: | 2017-12-26 |
发明(设计)人: | 何呈祥;陈标达;纪喨胜;陈俊昌;房蓓珊 | 申请(专利权)人: | 晶元光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/36;H01L27/15;B23K26/362 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种发光元件及其制造方法,其步骤至少包含提供一基板,其中基板具有一第一表面与一第二表面,其中第一表面与第二表面相对,形成多个发光叠层于基板的第二表面上,形成一氧化层于该基板的第一表面,自基板的第一表面施加一能量至基板内以形成多个不连续的第一变质区,在施加该能量至该基板内后,形成一金属层于该氧化层上,以及沿着些多个不连续的第一变质区分离基板。 | ||
搜索关键词: | 光电 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种发光元件制造方法,其步骤至少包含:提供一基板,其中该基板具有第一表面与第二表面,其中该第一表面与该第二表面相对;形成多个发光叠层于该基板的第二表面上;形成一氧化层于该基板的第一表面;自该基板的第一表面上的氧化层施加一能量至该基板内以形成多个不连续的第一变质区;在施加该能量至该基板内后,形成一金属层于该氧化层上;以及沿着该些多个不连续的第一变质区分离该基板。
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