[发明专利]图像获取装置，图案检查装置及图像获取方法

摘要

提供图像获取装置及方法、图像检查装置。图案检查装置的图像获取部具有：光照射部；线性传感器；角度变更机构；搬送机构，其搬送作为检查对象的膜材（web）。从光照射部出射对于膜材的薄膜图案具有透光性的波长的光。来自光照射部的光的照射角与线性传感器进行拍摄的检测角始终相同，并且由角度变更机构变更这些角度。在图案检查装置中，预先求出使检查图像的对比度变高的照射角及检测角的设定角度，并将照射角及检测角设定为设定角度。由此线性传感器能够利用单波长的光源来获取对比度高的检查图像，从而能够消减图案检查装置的制造成本。

主权项

一种图像获取装置，用于获取形成在基材上的薄膜图案的图像，其特征在于，具有：光照射部，其出射对于所述薄膜图案具有透光性的波长的光，线性传感器，其接收来自被照射所述光的线状的拍摄区域的光，移动机构，其使所述基材相对于所述拍摄区域在与所述拍摄区域交叉的方向上移动，角度变更机构，其以保持照射角和检测角相等的方式，变更所述照射角及所述检测角，所述照射角是从所述光照射部至所述拍摄区域的光轴和所述基材的法线所成的角，所述检测角是从所述拍摄区域至所述线性传感器的光轴和所述法线所成的角。