[发明专利]对基体进行旋转涂布的装置有效

专利信息
申请号: 201210180725.4 申请日: 2012-05-31
公开(公告)号: CN102861701B 公开(公告)日: 2017-01-18
发明(设计)人: 皮尔明·马夫勒 申请(专利权)人: 半太阳能股份有限公司
主分类号: B05C11/08 分类号: B05C11/08
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019 代理人: 寿宁,张华辉
地址: 德国拉多*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种用于用液态介质对基体进行旋转涂布的装置,具有转盘(1)和覆盖单元(2),所述覆盖单元用于在液态介质通过转盘(1)的旋转而实现的散布过程中覆盖所述基体,其中转盘(1)能够与覆盖单元(2)密封地拼装,但其中设有周围设置的通孔,通过所述通孔由覆盖单元(2)和转盘(1)构成的涂布内腔向外连通,其中基体盘(3)贴靠在转盘(1)上,其中,转盘(1)在与基体相面对的侧面上具有至少一个密封件(4),所述密封件适于相对于转盘(1)气体密封基体盘(3)。
搜索关键词: 基体 进行 旋转 装置
【主权项】:
一种用于用液态介质对基体进行旋转涂布的装置,具有转盘(1)和覆盖单元(2),该覆盖单元用于在液态介质通过所述转盘(1)的旋转而实现的散布过程中覆盖所述基体(9),其中所述转盘(1)能够与所述覆盖单元(2)密封地拼装,但其中设有周围设置的通孔,通过所述通孔由所述覆盖单元(2)和所述转盘(1)构成的涂布内腔向外连通,其中基体盘(3)贴靠在所述转盘(1)上,其特征在于,在所述基体盘(3)与所述转盘(1)之间设有第一O形密封件(4)及第二密封件(4.1),所述装置的升降装置(8)设置成能穿过所述转盘(1)和所述基体盘(3)以便将所述基体(9)从所述基体盘(3)上抬起,其中所述升降装置(8)由所述第一O形密封件(4)包围,旋转轴(6)由所述第二密封件(4.1)包围,从而所述基体盘(3)相对于所述转盘(1)气体密封。
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