[发明专利]蒸镀隔离元件及具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置无效
| 申请号： | 201210181728.X | 申请日： | 2012-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102864416A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 周子弘;张谦成;林耀辉 | 申请（专利权）人： | 隆达电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明有关一种蒸镀隔离元件及具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置。其中的蒸镀装置包含一个炉床、一个蒸镀源、一个冷却装置，及一个蒸镀隔离元件，该冷却装置装设于该炉床，该蒸镀隔离元件包括一个耐热本体、一个形成于该耐热本体顶部的顶面，及一个形成于该耐热本体且抵接于该炉床内侧面的防溢缘，该耐热本体具有一个形成于底部的凹室，该顶面周缘高度不高于该顶面的中心部，通过该耐热本体的材质选择，达到避免与蒸镀材料共金焊接的功效，且通过该耐热本体隔绝蒸镀材料与该炉床，达到避免蒸镀材料温度冷却、避免蒸镀功率大幅增加的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 隔离 元件 具有 装置 | ||
【主权项】：
一个种蒸镀隔离元件，用于一个炉床内承载蒸镀材料；其特征在于：该蒸镀隔离元件包含一个耐热本体、一个形成于该耐热本体顶部的顶面，及一个形成于该耐热本体且抵接于该炉床内侧面的防溢缘，该耐热本体包括一个形成于底部的凹室，该顶面周缘高度不高于该顶面的中心部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于隆达电子股份有限公司，未经隆达电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210181728.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于过滤器的筒体机构
- 下一篇：一种管道过滤器
- 同类专利
- 专利分类
