[发明专利]一种生长氧化锌晶体的方法有效
| 申请号： | 201210182714.X | 申请日： | 2012-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN102703973A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 马剑平;吴盼儒;刘洋;刘富丽 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | C30B23/06 | 分类号： | C30B23/06;C30B23/00;C30B29/16 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种生长氧化锌晶体的方法，在真空下，通入保护气，以氧化锌粉为粉源，将氧化锌粉加热使其升华为气体，所述升华的气体在温度梯度作用下被输运到氧化锌籽晶表面且结晶生长。采用升华法生长氧化锌晶体装置，加热速度快、生长室容易达到高真空，可通过改变工艺条件实现对氧化锌晶体尺寸、生长速度的控制，可获得高质量大尺寸氧化锌晶体；克服了现有技术生长速率低的不足，且工艺设备要求简单，成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生长 氧化锌 晶体 方法 | ||
【主权项】：
一种生长氧化锌晶体的方法，其特征在于：在真空下，通入保护气，以氧化锌粉为粉源，将氧化锌粉加热使其升华为气体，所述升华的气体在温度梯度作用下被输运到氧化锌籽晶表面且结晶生长。
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