[发明专利]加工装置

摘要

本发明提供一种加工装置，其能够将摄像构件的光量调整为合适的光量。该加工装置具有：卡盘工作台，其保持被加工物；加工构件，其对保持于该卡盘工作台的被加工物施行加工；摄像构件，其对保持于该卡盘工作台的被加工物进行摄像；和加工进给构件，其对该卡盘工作台和该加工构件相对地进行加工进给，其特征在于，该摄像构件包括：光源，其照明被加工物；摄像机，其对被照明了的被加工物进行摄像；和光量调整器，其对从该光源照射的光的光量进行调整，该光量调整器具有：旋转板，其具有旋转轴；和开口部，其形成于旋转板并供从该光源照射的光透过，该开口部以与该旋转轴的旋转角度对应地使透过的光量从小到大连续变化的方式形成为渐扩状。

主权项

一种加工装置，所述加工装置具有：卡盘工作台，所述卡盘工作台用于保持被加工物；加工构件，所述加工构件用于对保持于所述卡盘工作台的被加工物施行加工；摄像构件，所述摄像构件用于对保持于所述卡盘工作台的被加工物进行摄像；以及加工进给构件，所述加工进给构件用于对所述卡盘工作台和所述加工构件相对地进行加工进给，所述加工装置的特征在于，所述摄像构件包括：光源，所述光源用于照明被加工物；摄像机，所述摄像机用于对被照明了的被加工物进行摄像；以及光量调整器，所述光量调整器用于对从所述光源照射的光的光量进行调整，所述光量调整器具有：旋转板，所述旋转板具有旋转轴；以及开口部，所述开口部形成于所述旋转板，并用于供从所述光源照射的光透过，所述开口部以与所述旋转轴的旋转角度对应地使透过的光量从小到大连续变化的方式形成为渐扩状。